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晶圓級PECVD氣相沉積設備
簡要描述:

晶圓級PECVD氣相沉積設備大尺寸二硫化鉬制備CVD設備包括三溫區管式爐,特殊設計的爐管及配套氣路一組,晶圓級大尺寸二硫化鉬制備CVD設備通過特殊設計的管路,能夠將反應氣體均勻的釋放于爐管。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-17
  • 訪  問  量:182

詳細介紹

品牌CYKY

晶圓級PECVD氣相沉積設備(1150 三溫區 3路MFC)

本設備為基于CVD原理設計的晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置。包括三溫區管式爐,特殊設計的爐管及配套氣路一組。該設備通過特殊設計的管路,能夠將反應氣體均勻的釋放于爐管,確保后端晶圓上的產物的一致性和均勻性。是二硫化鉬制備實驗的。

特點

1.特殊管路設計,反應氣體均勻的釋放

2.二硫化鉬制備

晶圓級PECVD氣相沉積設備技術參數:

產品型號

CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2

爐管材質

高純石英

爐管規格

外部大石英管 φ120mm x1000mm

內部小石英管  φ25mm x820mm x7根

溫區長度

三溫區200mm+200mm+200mm

控溫精度

±1℃

溫度曲線

三溫區獨立控溫,每個溫區均可設置30段時間溫度曲線

工作溫度

0~1150℃

升溫速率

≤10℃/min

進氣系統

三路質量流量計Ar氣0~500sccm

N2氣0~200sccm

H2氣0~200sccm

配有七路分氣、混氣氣路及混氣灌。

爐管法蘭

不銹鋼水冷法蘭,配有KF16真空接口,機械式真空計及不銹鋼針閥

供電要求

AC 220V 50Hz  4kW

控制方式

7英寸觸控屏

真空泵

雙極旋片真空泵

真空度

理論極限真空度10^-1Pa




 

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