產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
晶圓級(jí)PECVD氣相沉積設(shè)備大尺寸二硫化鉬制備CVD設(shè)備包括三溫區(qū)管式爐,特殊設(shè)計(jì)的爐管及配套氣路一組,晶圓級(jí)大尺寸二硫化鉬制備CVD設(shè)備通過(guò)特殊設(shè)計(jì)的管路,能夠?qū)⒎磻?yīng)氣體均勻的釋放于爐管。
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