爐管材質  

高純石英  

爐管直徑  

100mm  

爐管長度  

1500mm  

爐膛長度  

440mm  

加熱區長  

400mm  

恒溫區長  

200mm  

工作溫度  

0～1100℃  

控溫精度  

±1℃  

控溫模式  

30段或50段程序控溫  

顯示模式  

高清全彩LCD觸控屏  

密封方式  

304不銹鋼真空法蘭  

供電電源  

AC:220V 50/60Hz  

RF輸出系統  

功率范圍  

0~500W可調  

工作頻率  

13.56MHz+0.005%  

工作模式  

連續輸出  

匹配阻抗模式  

能夠匹配，起輝均勻布滿爐管  

功率穩定度  

≤2W  

正常工作反射功率  

≤3W  

放大反射功率  

≤70W  

諧波分量  

≤-50dBc  

整機效率  

≥70%  

功率因素  

≥90%  

供電電壓/頻率  

單相交流（187V~153V） 頻率50/60Hz  

控制模式  

內控/PLC 模擬量/RS232/485通訊  

電源保護設置  

DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護  

冷卻方式  

強制風冷  

起輝長度  

在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿爐管  

供氣系統  

流量計  

四路質子流量計  

流量范圍  

MFC1量程：0~200sccm  MFC2量程：0~200sccm  

MFC3量程：0~500sccm  MFC4量程：0~500sccm  

分別對應氣體H2、 CH4、 N2、 Ar.  

測量精度  

±1.5%F.S  

重復精度  

±0.2%FS  

線性精度  

±1%F.S.  

響應時間  

≤4s  

工作壓力  

-0.15Mpa~0.15Mpa  

流量控制  

液晶觸摸屏控制，數字顯示，每路氣體含有針閥單獨控制  

進氣接口  

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管  

出氣接口  

可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管  

連接方式  

雙卡套接頭  

工作溫度  

5~45℃  

氣體預混  

配氣體預混裝置  

排氣系統  

產品型號  

CY-GZK103-A  

分子泵  

渦輪分子泵  

前級泵  

雙級旋片泵  

抽氣速率  

分子泵：600L/S  

綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達：5×10E-3Pa  

旋片泵：1.1L/S  

極限真空  

5×10E-4Pa  

抽氣接口  

KF40  

排氣接口  

KF16  

真空測量  

復合真空計  

旋轉及傾斜裝置  

轉速范圍  

0-20rpm  

傾斜角度  

0-15°  

進出料  

自動進料，傾斜后可自動集料