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  • CY-CVD1500-60-300-3TH-Q1500℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD氣相沉積

    1500℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD氣相沉積由1500℃單溫區管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。1500℃單溫區高真空CVD系統爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制爐管內的氣氛環境。

    更新日期:2025-11-17
    廠商性質:生產廠家
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