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詳細介紹
| 品牌 | CYKY |
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1200℃單溫區高真空CVD氣相沉積系統由單溫區管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫，可編輯30段升降溫程序，同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表，可以用來控制路爐管內的氣氛環境。同時1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。
1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統系統所配有的三路浮子流量計，可以混合1~3路氣體，較為準確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監測氣體壓力及混合槽壓力。
本系統還配有精密分子泵組，可以達到1.0E-3pa真空度，較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
1200℃單溫區高真空CVD氣相沉積系統技術參數：
1200單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統 | |||
真 空 管 式 爐 | 產品型號 | CY-O1200-50IT | |
爐管材質 | 高純石英 | ||
爐管直徑 | 50mm（可選配60mm、80mm、100mm） | ||
爐管長度 | 800mm | ||
爐膛長度 | 440mm | ||
加熱區長 | 400mm | ||
恒溫區長 | 200mm | ||
工作溫度 | 0～1100℃ | ||
控溫精度 | ±1℃ | ||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | ||
顯示模式 | LCD | ||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | ||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | ||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
供 氣 系 統 | 產品型號 | CY-3F | |
氣體通道 | 3通道 | ||
測量部件 | 氣體浮子流量計 | ||
測量量程 | A通道：0～100ml/min H2氣 | 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 | |
B通道：16～160ml/min N2氣 | |||
C通道：25～250ml/min Ar氣 | |||
測量精度 | ±2.0% | ||
管道耐壓 | 3MPa | ||
工作壓差 | 50～300KPa | ||
連接管道 | 304不銹鋼 | ||
控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | ||
接口規格 | 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | ||
排 氣 系 統 | 產品型號 | CY-GZK103-A | |
分子泵 | CY-600 | ||
前極泵 | 旋片泵 | ||
抽氣速率 | 分子泵：600L/S | 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa | |
旋片泵：1.1L/S | |||
抽氣接口 | KF40 | ||
排氣接口 | KF16 | ||
真空測量 | 復合真空計：電阻規+電離規 | ||
極限真空 | 1.0E-5Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
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