安裝條件  

1、使用環(huán)境溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh；  

2、設(shè)備供電：AC220V，50Hz，必須有良好接地；  

3、額定功率：1500w；  

4、設(shè)備用氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣清洗，需客戶自備氬氣，純度 ≥99.99%；  

5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 50kg 以上；  

6、擺放位置要求通風。  

技術(shù)參數(shù)  

1、 蒸發(fā)源數(shù)量：1鎢絲籃/鎢舟  

2、 適用蒸發(fā)膜料：金銀銅等不易被氧化的金屬，碳繩；  

3、 等離子濺射靶數(shù)量：1x2"  

4、 適用靶材：金銀銅等比重大，化學性質(zhì)穩(wěn)定的金屬；適用尺寸φ50mm x3mm  

5、 蒸發(fā)源電壓：10V  

6、 蒸發(fā)電流 0～100A 連續(xù)可調(diào)  

7、 配 1 個鎢舟、1 個鎢絲籃；  

8、 不銹鋼樣品臺,直徑為60mm；蒸發(fā)時使用樣品臺下表面及配套夾具，濺射時使用樣品臺上表面，直接將樣品放置在平面上。  

9、 樣品臺距離蒸發(fā)源距離20~50mm可調(diào)。當使用濺射功能時樣品臺應(yīng)和靶面距離30mm~50mm。  

10、 真空腔體為石英腔體其直徑為180mm，高度為150mm；  

11、 真空腔體抽氣接口為 KF25；  

12、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭，默認配不銹鋼微調(diào)閥以調(diào)節(jié)進氣量；  

13、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏；  

14、 可調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流、濺射電流，可設(shè)置蒸發(fā)**電流值、**真空值；  

15、 **保護：過流、真空過低自動切斷電流；  

16、 極限真空：1Pa(搭配雙級旋片泵)；  

17、 真空測量為電阻規(guī)真空計，其量程為：1～105Pa  

注意事項  

1、對于蒸鍍對氧較敏感的材料，建議增配分子泵組。  

2、為了達到較高的無氧環(huán)境，至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗 3 次。  

可選配件  

膜厚監(jiān)測儀  

1、膜厚分辨率：0.0136?（鋁）  

2、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，   材料應(yīng)力，溫度和密度  

3、測量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置測量范圍：500000?（鋁）  

4、標準傳感器晶體：6MHz  

5、適用晶片頻率：6MHz 適用晶片尺寸：Φ14mm 安裝法蘭：CF35  

其他配件  

1、鎢舟、鎢絲籃；  

2、CY-CZK103系列高性能分子泵組（含復(fù)合真空計，測量范圍10-5Pa~105Pa）；  

CY-GZK60系列小型分子泵組（含復(fù)合真空計，測量范圍10-5Pa~102Pa）  

VRD-4雙極旋片真空泵；  

3、KF25真空波紋管；長度可選0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架  

4、膜厚儀晶振片；