毛片在线播放网址_毛片免费不卡_成人亚洲一区二区三区_caoporn97在线视频

Product Center

產品中心

當前位置:首頁  >  產品中心  >    >  PECVD氣相沉積系統(tǒng)  >  CY-PECVD50R-1200-Q光學薄膜PECVD等離子增強型CVD系統(tǒng)

光學薄膜PECVD等離子增強型CVD系統(tǒng)
簡要描述:

CY-PECVD50R-1200-Q是一款光學薄膜PECVD等離子增強型CVD系統(tǒng)。此系統(tǒng)由150W射頻電源、單溫區(qū)管式爐、3通道質子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵組成。

  • 產品型號:CY-PECVD50R-1200-Q
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-17
  • 訪  問  量:153

詳細介紹

品牌CYKY

CY-PECVD50R-1200-Q是一款光學薄膜PECVD等離子增強型CVD系統(tǒng)。此系統(tǒng)由150W射頻電源、單溫區(qū)管式爐、3通道質子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵組成。

PECVD應用領域:

1.微電子與半導體工業(yè),介質薄膜 低k介質 多晶硅/非晶硅薄膜

2.光伏(太陽能電池)工業(yè),氮化硅減反射鈍化膜 非晶硅/微晶硅薄膜太陽能電池

3.顯示技術(LCD/OLED),薄膜晶體管(TFT)陣列制造

4.光學領域,光學薄膜

PECVD優(yōu)點:
1.沉積溫度低

2. 薄膜質量高

3. 良好的臺階覆蓋性和溝槽填充能力

4. 沉積速率較快

5. 廣泛的材料體系

光學薄膜PECVD等離子增強型CVD系統(tǒng)

 


光學薄膜PECVD等離子增強型CVD系統(tǒng) 技術參數(shù): 

結構特點  

• 150W射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度  

 • 3通道質子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行**的調控   

工作電源  

• AC208-220V,50/60Hz  

• 總功率:4KW  

單溫區(qū)管式爐  

• *高溫度:1100oC(< 2h) 連續(xù)工作溫度:1000℃  

• PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng)   

• 輸入功率:220V,單相,功率:1.5KW  

• 加熱區(qū)長度:200mm,恒溫區(qū):100mm   

• 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管   

等離子射頻電源  

• 輸出功率:0-150W可調(穩(wěn)定性:±1%)  

• 射頻頻率:13.56MHz(穩(wěn)定性:±0.005%)  

• *大反射功率:150W  

• 匹配:手動匹配  

• 射頻輸出端口:50Ω、N型  

• 噪音:<50dB  

• 冷卻: 空氣冷卻  

• 電源: 220VAC, 50/60Hz   

石英管  

• 高純石英管  

• 尺寸:φ50mm*1200mm L   

密封法蘭    

• 一對不銹鋼快接法蘭(法蘭上安裝有KF25真空接頭)  

真空泵(該部分為選配,單獨計費)  

• 雙級真空泵   

• KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵   

3通道質子流量計控制系統(tǒng)(該部分為選配,單獨計費)  

• 4通道質子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的**控制(**度:±0.02%)   

• 流量范圍:   

一路: 0~100 SCCM   

二路: 0~200 SCCM   

三路: 1~200 SCCM   

• 電壓:220V AC 50/60Hz  

• 氣體進出口配件:直徑6.35mm不銹鋼管  

• 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出  

尺寸和重量  

• 1400mm L x 600mm W x 1240mm H  

• 凈重:90kg    

質保期  

• 一年質保期,終生維護(石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外)  

質量認證  

• CE認證   

使用注意事項
  

• 爐管內氣壓不可高于0.02MPa   

• 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥   

• 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)   

• 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊  

• 石英管的長時間使用溫度<1100℃  

• 對于樣品加熱的實驗,使用時不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生。   


  

 

產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
400-875-1717轉865
歡迎您的咨詢
我們將竭盡全力為您用心服務
wjb@cykeyi.com
掃碼加微信
版權所有 © 2025 鄭州成越科學儀器有限公司  備案號:豫ICP備13020029號-4

TEL:4008751717,865

掃碼加微信

毛片在线播放网址_毛片免费不卡_成人亚洲一区二区三区_caoporn97在线视频
| | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | |