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產品型號:CY-PECVD50R-1200-Q
廠商性質:生產廠家
更新時間:2025-11-17
訪 問 量:153產品分類CLASSIFICATION
詳細介紹
| 品牌 | CYKY |
|---|
CY-PECVD50R-1200-Q是一款光學薄膜PECVD等離子增強型CVD系統(tǒng)。此系統(tǒng)由150W射頻電源、單溫區(qū)管式爐、3通道質子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵組成。
PECVD應用領域:
1.微電子與半導體工業(yè),介質薄膜 低k介質 多晶硅/非晶硅薄膜
2.光伏(太陽能電池)工業(yè),氮化硅減反射鈍化膜 非晶硅/微晶硅薄膜太陽能電池
3.顯示技術(LCD/OLED),薄膜晶體管(TFT)陣列制造
4.光學領域,光學薄膜
PECVD優(yōu)點:
1.沉積溫度低
2. 薄膜質量高
3. 良好的臺階覆蓋性和溝槽填充能力
4. 沉積速率較快
5. 廣泛的材料體系

光學薄膜PECVD等離子增強型CVD系統(tǒng) 技術參數(shù):
結構特點 | • 150W射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度 • 3通道質子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行**的調控 |
工作電源 | • AC208-220V,50/60Hz • 總功率:4KW |
單溫區(qū)管式爐 | • *高溫度:1100oC(< 2h) 連續(xù)工作溫度:1000℃ • PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng) • 輸入功率:220V,單相,功率:1.5KW • 加熱區(qū)長度:200mm,恒溫區(qū):100mm • 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管 |
等離子射頻電源 | • 輸出功率:0-150W可調(穩(wěn)定性:±1%) • 射頻頻率:13.56MHz(穩(wěn)定性:±0.005%) • *大反射功率:150W • 匹配:手動匹配 • 射頻輸出端口:50Ω、N型 • 噪音:<50dB • 冷卻: 空氣冷卻 • 電源: 220VAC, 50/60Hz |
石英管 | • 高純石英管 • 尺寸:φ50mm*1200mm L |
密封法蘭 | • 一對不銹鋼快接法蘭(法蘭上安裝有KF25真空接頭) |
真空泵(該部分為選配,單獨計費) | • 雙級真空泵 • KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵 |
3通道質子流量計控制系統(tǒng)(該部分為選配,單獨計費) | • 4通道質子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的**控制(**度:±0.02%) • 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 0~200 SCCM 三路: 1~200 SCCM • 電壓:220V AC 50/60Hz • 氣體進出口配件:直徑6.35mm不銹鋼管 • 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出 |
尺寸和重量 | • 1400mm L x 600mm W x 1240mm H • 凈重:90kg |
質保期 | • 一年質保期,終生維護(石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外) |
質量認證 | • CE認證 |
使用注意事項 | • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa • 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥 • 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài) • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 • 石英管的長時間使用溫度<1100℃ • 對于樣品加熱的實驗,使用時不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生。 |
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