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詳細介紹
| 品牌 | CYKY |
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1200℃三溫區高真空CVD氣相沉積系統由三溫區管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐三個溫區分別由精密控溫儀表獨立控溫，通過調節各個溫區的溫度，該管式爐可以在加熱區內形成三段溫度梯度或是形成較長的恒溫區域。每個溫區均可編輯30段升降溫程序，同時有過熱和斷偶保護功能。1200℃三溫區3路浮子供氣高真空CVD系統爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表，可以用來控制路管內的氣氛環境。
1200℃三溫區高真空CVD氣相沉積系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。
系統所配有的三路浮子流量計，可以較為準確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監測氣體壓力及混合槽壓力。
本系統還配有精密分子泵組，可以達到1.0E-3pa真空度，較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
技術參數：
真 空 管 式 爐 | 產品型號 | CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q | ||
爐管材質 | 高純石英 | |||
爐管直徑 | 50mm（可選配60mm、80mm、100mm） | |||
爐管長度 | 1300mm | |||
爐膛長度 | 1060mm | |||
加熱區長 | 300mm+300mm+300mm | |||
工作溫度 | 0～1100℃ | |||
控溫精度 | ±1℃ | |||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | |||
顯示模式 | LCD | |||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | |||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | |||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |||
供 氣 系 統 | 產品型號 | CY-3F | ||
氣體通道 | 3通道 | |||
測量部件 | 氣體浮子流量計 | |||
測量量程 | A通道：0～100ml/min H2氣 | 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。
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B通道：16～160ml/min N2氣 | ||||
C通道：25～250ml/min Ar氣 | ||||
測量精度 | ±2.0% | |||
管道耐壓 | 3MPa | |||
工作壓差 | 50～300KPa | |||
連接管道 | 304不銹鋼 | |||
控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | |||
接口規格 | 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | |||
排 氣 系 統 | 產品型號 | CY-GZK103-A | ||
分子泵 | CY-600 | |||
前極泵 | 旋片泵 | |||
抽氣速率 | 分子泵：600L/S | 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa | ||
旋片泵：1.1L/S | ||||
抽氣接口 | KF40 | |||
排氣接口 | KF16 | |||
真空測量 | 復合真空計：電阻規+電離規 | |||
極限真空 | 1.0E-5Pa | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |||
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