三溫區PECVD氣相沉積石墨烯制備系統用于制備石墨烯，是一種 “低溫、直接生長" 的技術。它尤其適合在非金屬基底（如絕緣襯底）上生長石墨烯，避免了從金屬催化劑轉移的復雜過程

產品型號：CY-PECVD50-1200-Q
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-11-17
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三溫區PECVD氣相沉積石墨烯制備系統由等離子發生器，三溫區管式爐、射頻電源、真空系統組成。等離子增強CVD系統為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD），該PECVD石墨烯薄膜制備設備借助13.56Mhz的射頻輸出等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在真空腔體內形成等離子體，利用等離子的強化學活性，改善反應條件，利用等離子體的活性來促進反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。

三溫區PECVD氣相沉積石墨烯制備系統

三溫區PECVD應用范圍：

等離子增強CVD系統可以用于：石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種試驗場所。可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應用于刀具、高精模具、硬質涂層、高duan裝飾等領域

三溫區PECVD氣相沉積石墨烯制備系統技術參數:

產品名稱	三溫區PECVD
產品型號	CY-PECVD50-1200-Q
三溫區管式爐	工作溫度：0-1100℃ 控溫精度：±1℃ 控溫方式：AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條爐管材質：高純石英爐管尺寸：φ50mm I.D x 1400mm L 加熱溫區：三溫區 200mm+200mm+200mm 密封方式：不銹鋼真空法蘭極限真空度：4.4E-3Pa
射頻電源	輸出功率：0-300W zui大可調±1% RF頻率： 13.56MHz，穩定性±0.005% 噪聲：≤55DB 冷卻：風冷
質量流量計	三路質量流量計閥門類型：不銹鋼針閥氣路數量：三路承壓范圍：-0.15Mpa~0.15Mpa 量程 1~200 SCCM 1~200 SCCM 1~500 SCCM 流量控制范圍：±1.5% 氣路材料：304不銹鋼管道接口：6.35mm卡套接頭
真空系統	配有一套分子泵系統,采用一鍵式操作 600L/S
水冷系統	CW-3200
電壓	220V 50HZ

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三溫區PECVD氣相沉積石墨烯制備系統用于制備石墨烯，是一種 “低溫、直接生長" 的技術。它尤其適合在非金屬基底（如絕緣襯底）上生長石墨烯，避免了從金屬催化劑轉移的復雜過程

三溫區PECVD應用范圍：

三溫區PECVD氣相沉積石墨烯制備系統技術參數:

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