產品型號

CY-PECVD-500T-SS

腔體尺寸

φ500

溫區長度

200

射頻電源

500W-

溫度

1000℃-

前級泵

分子泵組

顯示類型

T

溫區

I-

水冷機

CW5200

腔體材質

SS

樣品加熱加熱溫度

RT-1000℃以上，溫控精度：±1°C，采用控溫表進行控溫；

可調轉速：1-20rpm可調

噴淋頭尺寸

Φ90mm，噴淋頭與樣品之間電極間距40-100mm在線連續可調（可根據工藝調整），并帶有標尺指數顯示

樣品臺

直徑200mm

沉積工作真空

0.133-133Pa（可根據工藝調整）

頂部法蘭

可通過馬達提升，基板更換方便，有可視口

基板臺

基板臺的線性和方位角運動，基板加熱和溫度控制，安裝臺和觸摸屏控制，基板線性運動是手動控制的，基板旋轉是由直流電動機控制的

真空腔體

前開門式，φ500mm X 500mm 不銹鋼材質

觀察窗

φ100mm 帶擋板

質量流量計

六路質量流量計

氣路數量

六路

承壓范圍

-0.15Mpa~0.15Mpa

量程

0~100 SCCM（氧氣）

0~100 SCCM（CF4）

0~200 SCCM （SF6）

0~200 SCCM （氬氣）

0~500 SCCM （其他氣體空氣）

0-500sccm （其他氣體氮氣）

流量控制范圍

±1.5%

氣路材料

304不銹鋼

管道接口

6.35mm卡套接頭

真空系統

前級泵：無油真空泵4.7L/S

分子泵：1200L/S

測量范圍

1×10-5～1×105Pa

測量精度

1×10-5～1×10-4Pa ±40%的讀數

1×10-4～1×105Pa ±20%的讀數