1200℃雙溫區(qū)真空CVD氣相沉積系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡(jiǎn)單易上手，即使是非專業(yè)人員經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。  管式爐兩個(gè)溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫，通過(guò)調(diào)節(jié)各個(gè)溫區(qū)的溫度，該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成兩段溫度梯度或是形成較長(zhǎng)的恒溫區(qū)域。每個(gè)溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序，同時(shí)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。1200℃雙溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表，可以用來(lái)控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。

系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì)，可以較為準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面，可以監(jiān)測(cè)氣體壓力及混合槽壓力。  

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。  

1200℃雙溫區(qū)真空CVD氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：   

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