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小型高真空等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀
簡要描述:

小型高真空等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-17
  • 訪  問  量:135

詳細介紹

品牌CYKY價格區(qū)間1-5萬
產地類別國產應用領域電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

小型高真空等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。為了提高鍍膜質量,本臺二合一鍍膜儀采用的不銹鋼真空腔體配合精密分子泵的高真空設計,較高的真空度能夠有效的提升鍍膜純凈度和均勻度,有利于得到更好的實驗效果。樣品臺有旋轉和加熱功能,能夠提高薄膜的附著力和成膜的均勻度。本儀器體積小,節(jié)省空間,能夠置于試驗臺上使用,非常適合各大高校及研究機構選用。  

小型高真空等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀適用范圍:  

掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的制作等。  

小型高真空二合一鍍膜儀技術參數:  


小型高真空二合一鍍膜儀  

樣品臺  

尺寸  

φ138mm  

控溫精度  

±1℃  

加熱溫度  

*高500℃  

轉速  

1-20rpm可調  

直流濺射頭  

數量  

2"×1   

 

 

 

 

蒸發(fā)系統  

蒸發(fā)源  

鎢絲籃  

*高溫度  

1700℃  

熱電偶  

S型熱電偶  

 

 

 

 

真空腔體  

腔體尺寸  

φ170mm×200mm   

觀察窗口  

石英觀察窗   φ70  

腔體材料  

不銹鋼  

開啟方式  

上開啟式  

真空系統  

產品型號  

CY-GZK103-A  

抽氣接口  

KF40  

分子泵  

CY-600  

排氣接口  

KF16  

前極泵  

旋片泵  

真空測量  

復合真空計  

極限真空  

1.0E-5Pa  

抽氣速率  

分子泵:600L/S  旋片泵:1.1L/S  綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達: 1.0E-3Pa  

濺射電源配置  

數量  

直流電源×1  

Max 輸出功率  

150w  

 

其他  

供電電壓  

AC220V,50Hz  

整機尺寸  

600mm×300mm×470mm  

整機功率  

1.5kw  

整機重量  

40kg  






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