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大功率直流磁控濺射鍍膜儀
簡要描述:

大功率直流磁控濺射鍍膜儀是一款高功率臺式磁控等離子濺射鍍膜機 ,帶有一個水冷2英寸靶頭,冷水機和可旋轉樣品架。直流磁控濺射鍍膜儀設計用于涂覆直徑達4英寸的所有金屬薄膜, 包括Zn、Al、Ti和碳光膜,價格合理。包含一個Al 目標以供立即使用。

  • 產品型號:CY-MSH325- I-DC-SS
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-17
  • 訪  問  量:137

詳細介紹

品牌CYKY價格區間5萬-10萬
產地類別國產應用領域電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

大功率直流磁控濺射鍍膜儀產品內容:  

直流磁控濺射鍍膜儀包含一個2英寸水冷靶頭和可旋轉樣品臺。水冷靶頭使鍍膜后的樣品表面不會因鍍膜溫度過高而變形,甚至損壞樣品;樣品臺可旋轉,可以使樣品邊旋轉邊鍍膜使鍍膜后的樣品表面膜后均勻。設備外形小巧,性價比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設備,可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設備使用。  

大功率直流磁控濺射鍍膜儀技術規格:

項目

明細

產品型號

CY-MSH325- I-DC-SS

供電電壓

AC220V50Hz

整機功率

4KW

系統真空

5×10-4Pa

樣品臺

外形尺寸

φ150mm

加熱溫度

500℃

控溫精度

±1

可調轉速

20rpm

磁控靶槍

靶材尺寸

直徑Φ50.8mm,厚度3mm

冷卻模式

循環水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ325mm,高度500mm

腔體材質

SUU304不銹鋼

觀察窗口

直徑φ100mm

開啟方式

頂開式

氣體控制

1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

真空系統

配分子泵系統1套,氣體抽速600L/S

膜厚測量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

濺射電源

直流電源500W

控制系統

CYKY自研專業級控制系統

設備尺寸

600mm   × 650mm × 1280mm

設備重量

350kg

 



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