電阻蒸發(fā)鍍膜儀是一種基于電阻加熱原理，在真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)金屬或合金材料蒸發(fā)沉積的精密設(shè)備，廣泛應(yīng)用于科研與工業(yè)領(lǐng)域，為材料表面賦予導(dǎo)電、隔熱、耐磨、裝飾等多樣化功能。其該設(shè)備通過大電流通過鎢、鉬等高熔點(diǎn)金屬蒸發(fā)源（如船型蒸發(fā)舟），利用電阻焦耳熱效應(yīng)使蒸發(fā)源內(nèi)金屬材料熔融汽化。汽化后的原子在真空腔體（真空度通常達(dá)10?³~10??Pa）中沿直線運(yùn)動，遇冷基材后凝結(jié)形成致密薄膜。例如，在鈣鈦礦太陽能電池制造中，可在120mm見方基片上沉積均勻鋁電極，膜厚均勻度控制在±3%以內(nèi)。

　　電阻蒸發(fā)鍍膜儀的主要特點(diǎn)：

　　1、簡單易行的操作方式：電阻加熱是通過電流流過特定的加熱元件，如鎢絲、鉬舟等，使其產(chǎn)生高溫，進(jìn)而加熱蒸發(fā)材料。這種方式結(jié)構(gòu)相對簡單，成本較低，適用于多種材料的蒸發(fā)。

　　2、適用于多種材料：電阻蒸發(fā)鍍膜儀可以用來蒸發(fā)諸如Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等多種金屬材料，以及一些低熔點(diǎn)的有機(jī)物和其他材料。

　　3、高真空環(huán)境：為了確保材料在蒸發(fā)過程中不會與氣體反應(yīng)，通常需要一個(gè)高真空環(huán)境。這要求配備有高效的真空系統(tǒng)，以確保腔體內(nèi)達(dá)到足夠的真空度，減少氣體分子的干擾，從而保證薄膜的純度和質(zhì)量。

　　4、溫度控制精確：通過調(diào)節(jié)所加電流的大小，可以方便地控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率。此外，還可以利用標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)對蒸發(fā)源的溫度進(jìn)行校準(zhǔn)，確保顯示溫度與實(shí)際溫度相符。

　　5、智能控制系統(tǒng)：現(xiàn)代電阻蒸發(fā)鍍膜儀通常配備了PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具有漏氣自檢與提示、通訊故障自檢等功能，提高了設(shè)備的運(yùn)行重復(fù)性和安全性。

　　6、適應(yīng)性強(qiáng)：一些型號的電阻蒸發(fā)鍍膜儀體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，易于操作，適合放置于實(shí)驗(yàn)室桌面或手套箱內(nèi)使用，并且能夠整機(jī)移動，非常適合科研機(jī)構(gòu)和高校的研究需求。

　　7、多功能性：某些高級型號的電阻蒸發(fā)鍍膜儀還配置了多個(gè)蒸發(fā)源，允許用戶在同一臺設(shè)備上蒸鍍不同種類的材料，實(shí)現(xiàn)多層膜的制備。例如，某些型號配有3組水冷式電阻蒸發(fā)源，支持4個(gè)蒸鍍加熱舟，每個(gè)加熱舟都可獨(dú)立進(jìn)行蒸鍍。

　　8、膜厚控制精準(zhǔn)：配備膜厚監(jiān)測系統(tǒng)，如晶振膜厚儀，可以實(shí)時(shí)監(jiān)控鍍膜過程中的沉積速率和最終厚度，精度可達(dá)0.1Å，有助于實(shí)現(xiàn)對膜厚的精確控制。