高真空晶圓RTP快速退火爐由我公司自主研發的功能強大的加熱設備。該產品采用進口紅外線加熱管加熱，造型新穎結構合理，爐體和爐管可以自由滑動，可實現快速升降溫。爐管尺寸210*650MM，可以直接放下8英寸的材料。試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內，在完成生產工藝的同時，也大大降低了間接污染試樣的可能性

高真空晶圓RTP快速退火爐主要功能和特點:

1、可視化7寸觸摸屏，設定數據和操作都是圖文界面，操作方便;
2、爐體配備高精度移動平臺，運行平穩無抖動;
3、爐管可自由移動，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;當爐管移出爐膛時冷確風扇啟動，可實現試樣的迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實驗要求;
4、爐膛采用進口多晶纖維真空吸附制成，采用進口紅外線加熱管加熱，使用壽命可達5000小時，升溫速度快，*高溫度可達1050℃。
5、預留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統、混氣系統使用;
6、預留了485轉換接口，可通過我司專用軟件，與計算機互聯，可實現單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;
7、設置超溫報警并斷電，漏電保護，操作可靠。

RTP快速退火爐技術參數：