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凈化旋涂儀勻膠機帶加熱臺
簡要描述:

凈化旋涂儀勻膠機帶加熱臺廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠; 是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備 。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作

  • 產品型號:CY-SPC4-SS-JH
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-16
  • 訪  問  量:108

詳細介紹

品牌CYKY

凈化旋涂儀勻膠機帶加熱臺廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠; 是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備 。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作  

凈化旋涂儀勻膠機帶加熱臺  

凈化旋涂儀勻膠機帶加熱臺技術參數:  

產品名稱

凈化旋涂儀帶加熱臺

產品型號

CY-SPC4-SS-JH

勻膠機

電源電壓

AC220V, 50Hz

旋轉速度

0~9999rpm, adjustable

加速度

100~5000rpm/s

速度分辨率

1rpm

時間分辨率

1s

單步時間

3000s

基片尺寸

直徑≤4英寸(100mm

腔體材質

亞克力

操作方式

按鍵+液晶屏

點膠方式

手動點膠,可選精密注射泵

勻膠曲線

每條曲線5段,共可存儲5條曲線

抽氣口

φ6mm快擰接口

真空吸盤

直徑10mm, 25mm, 55mm

整體尺寸

210mm×250mm×180mm

加熱板

加熱板尺寸

150*150mm

加熱溫度

RT~300C

溫度分辨率

0.1C

控溫精度

±1C

溫度均勻性

<±2C

電源

AC220V, 50Hz

凈化柜

尺寸

800*680*1700mm

內部布局

內部左側放4英寸亞克力腔體勻膠機,右側放加熱板

凈化等級

美國標準99%

照明

內置LED照明燈

排氣系統

真空泵

干式機械泵

抽氣速率

50L/min

電源

AC220V, 60Hz


 


 


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