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產(chǎn)品型號：CY-MS500S-2TA1S廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-11-16訪 問 量：185詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
簡單介紹：
高真空多弧離子鍍膜儀制備多元非晶合金,制備金屬化合物，如氧化物和氮化物薄膜（氧氣或氮氣氛圍）,制備納米顆粒催化劑膜,用熱電材料靶材制備熱電效應(yīng)薄膜。
詳情介紹：
高真空多弧離子鍍膜儀利用電弧放電將導(dǎo)電材料離子化，利用其繞射性好的優(yōu)勢，產(chǎn)生高能離子并沉積在基底上（特別是泡沫鎳等多孔基底），制備納米級薄膜鍍層或納米顆粒。主要由鍍膜室、多弧靶、多弧電源、脈沖偏壓電源、樣品臺、加熱、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏半自動控制系統(tǒng)等組成；該設(shè)備主機與控制一體化設(shè)計，操控方便；結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。該系列設(shè)備廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的教學(xué)、科研實驗以及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實驗及開發(fā)新產(chǎn)品等，深受廣大用戶好評。
制備多元非晶合金,制備金屬化合物，如氧化物和氮化物薄膜（氧氣或氮氣氛圍）,制備納米顆粒催化劑膜,用熱電材料靶材制備熱電效應(yīng)薄膜。
1.真空腔室 | Ф500×H420mm，304 上等不銹鋼，前開門結(jié)構(gòu)； 腔室加熱溫度：室溫～350±1℃； |
2.真空系統(tǒng) | 復(fù)合分子泵+直聯(lián)旋片泵+高真空閥門組合的高真空系統(tǒng)，數(shù)顯復(fù)合真空計； |
| 優(yōu)于 6.0×10-5Pa（空載，經(jīng)烘烤除氣后）； |
4.漏率 | 設(shè)備升壓率≤0.8Pa/h； 設(shè)備保壓：停泵 12 小時候后，真空≤10Pa； |
5.抽速 | (空載）從大氣抽至 5.0×10-3Pa≤15min； |
6.基片臺尺寸 | Φ150mm，自轉(zhuǎn)工位 3 個； |
7.基片臺旋轉(zhuǎn) | 基片旋轉(zhuǎn)：0～20 轉(zhuǎn)/分鐘； |
8.濺射靶 | DN100 新型磁過濾多弧靶 2 套 |
9.脈沖偏壓電源 | -1000V，1 套； |
11.控制方式 | PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統(tǒng)； |
12.報警及保護 | 對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應(yīng)保護措施；完善 的邏輯程序互鎖保護系統(tǒng)； |
13.占地 | (主機）L1900×W800×H1900(mm)。 |
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