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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高度集成化，在同一個腔體內即實現了兩種鍍膜功能；本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體，鍍膜過程可見。儀器標配雙極旋片真空泵，能夠快速達到1.0E-4Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa，可滿足大多數蒸發鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環境。本儀器體積小，節省空間，能夠置于試驗臺上使用，一機多用，性價比突出，非常適合各大高校及研究機構選用。
熱蒸發與等離子鍍膜復合型鍍膜儀適用于掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導體材料試驗電極的制作等。
| 產品名稱 | 熱蒸發與等離子鍍膜復合型鍍膜儀 | |
| 產品型號 | CY-EVZ270-I-HP-SS | |
| 樣品臺 | 位 置 | 頂部設置 |
| 外形尺寸 | 直徑φ150mm | |
| 轉 速 | 0-20 rpm可調 | |
| 可調溫度 | ≦500℃ | |
| 熱蒸發源 | 鎢舟 | |
| 蒸發電源 | 蒸發源配一組獨立電源 | |
| 濺射電源 | 直流電源 | |
| 濺射靶 | 數量2"×1 | |
| 真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ273mm×H300mm |
| 觀察窗口 | 直徑φ80mm | |
| 腔體材質 | 304不銹鋼 | |
| 開啟方式 | 前開門式 | |
| 膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） | |
| 真空系統 | 前級泵 | 雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
| 次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速60L/S | |
| 真空測量 | 復合真空計(電離規+電阻規) | |
| 系統真空 | 5×10-4Pa | |
| 控制系統 | CYKY自研專業級控制器 | |
| 其他參數 | 供電電源 | AC220V,50Hz |
| 整機尺寸 | 600mm×500mm×850mm | |
| 整機功率 | 7KW | |
| 整機重量 | 120kg | |
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