產品名稱

卷對卷式PECVD

產品型號

CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

1000W等離子源

● 輸出功率：50-1000W*大可調±1%
 ● RF頻率： 13.56MHz，穩定性±0.005%
 ● 噪聲：≤55DB
 ● 冷卻：風冷
 ● 輸入功率：1KW  AC 220V

三路質子流量計控制系統

● 電壓：AC220V/50Hz
 ● 功率：23W
 ● PLC觸摸屏控制
 ● 混氣罐尺寸：φ80*120mm
 ● 工作溫度：5~45℃
 ● *大壓力: 3x106 Pa
 ● 精度: ±1.5% FS
 ● 線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
 ● 重復精度: ±0.2%F.S.
 ● 流量范圍:
 ● 一路: 1~50 SCCM （甲烷標定）
 ● 二路: 1~200 SCCM （氫氣標定）
 ● 三路: 1~200 SCCM （氬氣標定）
 氣體種類標定根據客戶要求可以進行其它選擇

真空測量單元

● 型號：PCG-800
 ● 顯示范圍：3.8E-5 to 1125 Torr
 精度：
 ● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
 ● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
 ● 100 … 950 mbar % of reading ±5
 ● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

低真空機組（標配）

● 由雙旋機械泵、雙層立式油霧過濾器（PE材質）、電阻真空計以及連接管道接頭等組成
 ● 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
 ● 極限真空度10-1Pa
 ● 真空計測量范圍10-1Pa-105 Pa

卷對卷銅箔收放密封裝置

● 采用卷對卷收放卷機構進行銅箔的移動進出料，銅箔的移動速度為1-400mm/min可調；
 ● 配置一卷測試銅箔

● 收放卷機構別放置于管式爐兩端真空腔體內，保證銅箔可在密封生長條件下進行運動，實現大規模制備   。
 ● 收卷機構與管式爐之間設置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻。

產品尺寸

大約2400*800*1250mm

產品重量

大約720kg

質量認證

電器元件可選擇通過CE認證

保修期

一年保修，終身技術支持。
 特別提示：
 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。
 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。