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產(chǎn)品型號:CY-S48
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
更新時間:2025-11-17
訪 問 量:183產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | CYKY |
|---|
氣體質(zhì)量流量計全稱為質(zhì)量流量控制器,其英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER"(簡稱MFC),主要由:流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。質(zhì)量流量計主要用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。廣泛用于石油化工、冶金、制藥等領(lǐng)域;比如:擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。其主要特點(diǎn):
1、可以任意角度安裝
2、良好的線性——多段線性補(bǔ)償
3、快速的響應(yīng)速度,穩(wěn)定度高,重復(fù)性好。
4、電磁閥使用壽命≥100萬次
5、對零點(diǎn)漂移有效的控制
6、傳感器、分流器、精密元器件日本進(jìn)口
| 產(chǎn)品名稱 | 氣體質(zhì)量流量計 | |
| 流量范圍 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min | |
| 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 | |
| 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 | |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 流量控制范圍 | 2%~99% | |
| 流量測量范圍 | 0~99% | |
| 響應(yīng)時間 | 2s(T98,設(shè)定值的±2% F.S.) | |
| 工作環(huán)境溫度 | 5℃~50℃ | |
| 精度保證溫度 | 15℃~35℃ | |
| 精度 | ±1.0%F.S. | |
| 線性精度 | ±0.5%F.S. | |
| 重復(fù)性 | ±0.2%F.S. | |
| 工作壓差 | ~5L/min (50~300)kPa(D) | |
| 耐壓 | 3MPa | |
| 泄漏率 | 1×10-8 Pa?m3/s (He) | |
| 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡膠 | |
| 管路接頭 | Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ | |
| 供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V<100mA,-15V<150mA | +24VDC(寬電壓+11~+25V), |
| 設(shè)定信號 | (0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ | 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V) |
| 流量輸出信號 | (0~5)VDC 負(fù)載能力≤3mA | |
| 電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 | |
| 重量(kg) | 0.9 | |
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