本設(shè)備為桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）。設(shè)備經(jīng)過小型化設(shè)計(jì)，將設(shè)備外形限制在了桌面級別，大大減少了安裝場地需求。設(shè)備配有一個高性能直流電源，具有煉靶功能，有效去除鋁靶表面的氧化層，十分適合鍍鋁等對空氣十分敏感的材料。本設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用，非常適合用于各類鍍膜試驗(yàn)。

產(chǎn)品型號：CY-MSZ180-I-DC-Q
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-11-17
訪問量：108

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詳細(xì)介紹

品牌	CYKY	價格區(qū)間	1-5萬
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

本設(shè)備為桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）。設(shè)備經(jīng)過小型化設(shè)計(jì)，將設(shè)備外形限制在了桌面級別，大大減少了安裝場地需求。設(shè)備配有一個高性能直流電源，具有煉靶功能，有效去除鋁靶表面的氧化層，十分適合鍍鋁等對空氣十分敏感的材料。本設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用，非常適合用于各類鍍膜試驗(yàn)。

磁控鍍膜儀典型應(yīng)用：

• 科研領(lǐng)域：納米材料、薄膜器件、光學(xué)涂層等研究。

• 電子行業(yè)：半導(dǎo)體、傳感器、導(dǎo)電薄膜制備。

• 教學(xué)演示：材料科學(xué)、真空技術(shù)實(shí)驗(yàn)教學(xué)。

• 以下是磁控鍍膜儀的典型實(shí)用案例，涵蓋科研、工業(yè)及教學(xué)領(lǐng)域，體現(xiàn)其多功能性和廣泛應(yīng)用價值：

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	桌面型單靶磁控鍍膜儀（鍍鋁型）
產(chǎn)品型號	CY-MSZ180-I-DC-Q
樣品臺	外形尺寸	φ100mm
	加熱溫度	≦500℃
	可調(diào)轉(zhuǎn)速	≦20rpm
磁控靶槍	配兩支兩英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm X215mm
	觀察窗口	全向透明
	腔體材料	高純石英
	開啟方式	上蓋拆卸式
真空系統(tǒng)	前級泵	低噪音雙極旋片泵
	分子泵	低噪音大抽速渦輪分子泵
	真空測量	復(fù)合真空計(jì)，量程:10^-5~10⁵Pa
	抽氣接口	KF16
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	系統(tǒng)真空	1.0×10^-4Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	分子泵抽速600L/s，前級泵抽速1.1L/s
電源配置	電源數(shù)量	直流電源一套
電源配置	輸出功率	500W
其他參數(shù)	供電電壓	AC220V,50Hz
	整機(jī)功率	2kW
	整機(jī)尺寸	550mm X 350mm X400mm

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