產品型號  

CY-IV208-30KW-Q  

主要特點  

   1、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。  

   2、設有自動水壓、過熱、功率過高保護系統。  

   3、溫控器采用PID方式控溫，可設置30段升降溫程序，設有過熱和斷偶保護功能。  

   4、配有防腐型真空計，當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類的不同進行系數轉換，量程可到3.8×10E-5  

           torr。  

   5、迷你型浮子流量計精度為4%。  

   6、配有雙級旋片機械泵（2L/s），可使石英管內真空度達到10E-2torr。  

感應加熱器  

工作電壓  

三相AC 380 V  50Hz（需60 A空氣開關）  

工作電流  

7Amps-70Amps（需100A空氣開關）  

功率  

*大振蕩功率30KW，*大輸入功率15KW  

輸出頻率  

30KHz-110 KHz  

占空比  

80%  

感應線圈  

內徑Φ220 mm，高65 mm  

空氣冷卻  

后風扇  

溫度控制器及熱電偶  

工作電壓  

AC208V-240V  單相  

控溫精度  

±3℃  

熱電偶  

C型，外徑Φ1/4″，長10″  

連續工作溫度范圍  

1000℃-2000℃  

*大升溫速率  

4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃）  

石墨坩堝（易耗件）  

高純石墨坩堝  

外徑Φ114mm，內徑Φ100mm，高142mm    

*大容量  

樣品所占容積應為石墨坩堝容積的1/2，*大質量為4kg（以鐵標定）  

保溫層  

石墨坩堝外環繞三層隔熱材料，從內至外分別為石墨氈（可耐溫2200℃）-氧化鋁（可耐溫1700℃）- 高溫氈，總厚度為32mm  

石英管和密封法蘭  

石英管  

兩端開口，外徑Φ216mm，內徑Φ208mm，長500mm  

頂部法蘭  

采用不銹鋼折疊式法蘭，裝有防腐型真空計、不銹鋼截止閥，設有1個1/4″的鎧裝接口（可插入熱電）偶至石英管內部，更準確地測量樣品溫度  

底部法蘭  

設有KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接  

水冷機  

溫度  

5℃-30℃  

水流速  

>16L/min  

水箱容積  

12L，采用不銹鋼制作  

水壓  

≥0.1MPa  

流量  

≥5L/min  

  （建議使用特定的冷卻劑液以達到*佳的冷卻效果）  

真空泵  

工作電壓：AC208V-240V單相  

移動爐架  

尺寸：700mm×1000mm×700mm，鋼框架結構，方便移動感應加熱器和帶法蘭的石英管  

注意事項  

 操作前，必須仔細閱讀說明書，且操作人員需帶防護面罩。使用時，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動氬氣下進行，  

 流量小于200ml/min，需始終保持石英管內的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內的氣壓，若氣壓超  

 過**值，會引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造**身傷害。  

其他事項  

 本機可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學氣相沉積（HPCVD）系統。