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加熱型旋轉涂覆儀勻膠機
簡要描述:

加熱型旋轉涂覆儀勻膠機采用全鋁合金腔體,美觀堅固。儀器采用的精密電機,轉速能達到10000轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。

  • 產品型號:CY-SPC8-SS
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-16
  • 訪  問  量:137

詳細介紹

品牌CYKY

加熱型旋轉涂覆儀勻膠機采用全鋁合金腔體,美觀堅固。儀器采用的精密電機,轉速能達到10000轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能,本品還配有加熱組件,可以加熱到200℃,由智能溫控表控溫,溫度測定準確,升溫過程可控。另外本儀器采用觸控屏控制,可以預設勻膠曲線,大大簡化了使用過程降低了學習成本,十分適合實驗室選購。  

加熱型旋轉涂覆儀勻膠機適用范圍:
 

加熱型旋轉涂覆儀可以將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應用于光刻膠旋涂、生物培養基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。
 

加熱型旋轉涂覆儀技術參數:  


 

項目  

明細  

旋涂儀  

供電電壓  

AC220V,50Hz  

轉速  

0~10000rpm  

加速度  

100~5000rpm/s  

轉速分辨率  

1rpm  

單步時間  

3000s  

基片尺寸  

直徑≤8英寸(200mm  

腔體材質  

鋁合金  

加熱溫度  

200  

控溫方式  

AIP智能控溫  

操作方式  

7寸高清LCD觸控屏  

滴膠方式  

手動滴膠,可選購精密注射泵  

勻膠曲線  

每條曲線5段,共可儲存5條曲線  

抽氣接口  

φ6mm 快擰接口  

整機尺寸  

290mm×365mm×300mm  

整機重量  

12kg  

排氣系統  

真空泵  

干式機械泵  

抽氣速率  

50L/min  

供電電源  

AC220V  50/60Hz  

 


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