晶圓勻膠機主要適用于液體、膠狀體、可流動糊狀體等薄膜材料的使用，能夠在瞬間提供可控的高速轉(zhuǎn)數(shù)，迅速使液體、膠狀體等材料在襯底上均勻地形成薄膜。CY-SVC真空程控型勻膠機操作簡單、清理方便，體積小巧，因此該設(shè)備被廣泛應用于各大專院校及科研院所當中。

晶圓勻膠機工作時將樣品用粘接的方法固定在載樣盤上，然后開動勻膠機將設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)設(shè)置在一定的轉(zhuǎn)數(shù)范圍內(nèi)，在此轉(zhuǎn)數(shù)范圍內(nèi)設(shè)置一定的注膠時間對樣品進行注膠，注膠結(jié)束后勻膠機會提升轉(zhuǎn)數(shù)限轉(zhuǎn)數(shù)進行勻膠，在勻膠之前要對勻膠時間進行設(shè)置，當勻膠時間結(jié)束后機器自動停止運轉(zhuǎn)，涂膜的整個過程結(jié)束。  

技術(shù)參數(shù)：  

轉(zhuǎn)速精度：1RPM  

目標轉(zhuǎn)速：<5000RPM

加速度：<5000RPM/S(視扭矩大小）

內(nèi)腔抽真空負壓：<-0.06MPa  

多步運行：100組100步  

單步長：3000S  

時間分辨率：0.1S  

特性優(yōu)點：  

75W直流無刷電機，單片機控制  

高清晰文本顯示器  

可單步和多步勻膠操作  

防堵膠設(shè)計  

PP耐腐蝕內(nèi)腔，可更換  

耐溶劑PC透明蓋  

耐腐蝕易清潔PP外殼  

多角度定位鉸鏈設(shè)計  

鋁質(zhì)合金真空吸盤  
 

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