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單靶等離子濺射鍍膜儀(標準型)
簡要描述:

單靶等離子濺射鍍膜儀(標準型)采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。本型號儀器還配有旋轉樣品臺,能夠有效的提升鍍膜的均勻性。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。設備體積小巧造型美觀,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。

  • 產品型號:CY-PLZ180-I-DC-Q
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-16
  • 訪  問  量:253

詳細介紹

品牌其他品牌價格區間1-5萬
產地類別國產應用領域地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬

技術參數:

產品名稱

單靶等離子濺射鍍膜儀(標準型)

產品型號

CY-PLZ180-I-DC-Q

樣 品臺

尺寸

100mm

旋轉速度

1~20rpm可調

等離子濺射靶

數量

2英寸x1

冷卻方式

自然冷卻

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 150mm    

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

上下蓋材質

304不銹鋼

抽氣接口

KF25

進氣接口

1/4英寸卡套接頭

電源配置

數量

直流電源x1

輸出功率

*大150W

濺射電源

3000V

*大濺射電流

50mA

真空系統

真空泵類型

雙極旋片真空泵

抽氣接口

KF25

排氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s4m3/h

極限真空度

0.1Pa

真空測量

電阻真空規

其他

供電電源

AC 220V  50Hz

整機功率

1.5kW

整機尺寸

570mm X 450mm X450mm

整機重量

30kg




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