本設備為多源高真空蒸發鍍膜儀，設備采用前開門式真空腔體設計，腔體空間大，可拓展性強，能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺，可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。

產品型號：CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-11-17
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品牌	CYKY	價格區間	10萬-30萬
產地類別	國產	應用領域	電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

本設備的蒸發源共兩組，采取鎢舟蒸發源，水冷式銅電極，可最大支持300A的大電流，加熱溫度最高可達1800℃，可實現多種難熔金屬的蒸鍍。本設備采用一體化設計，腔體和電控部分左右分置，實現了水電分離，有力的保證了用戶的需求。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計，真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作，通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作，在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能，是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的之選。

多源高真空蒸發鍍膜儀技術參數：

多源高真空蒸發鍍膜儀
型號	CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS
樣品臺	尺寸	最大支持φ150mm樣品
樣品臺	高度	上下70mm可調
蒸發源	數量	鎢舟x2
真空腔體	腔體尺寸	φ325x600mm
	觀察窗口	前置φ100mm
	腔體材料	304不銹鋼
	開啟方式	前開門式
膜厚控制	晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀
真空系統	前級泵	雙極旋片泵
	抽氣接口	KF16
	次級泵	渦輪分子泵
	抽氣接口	CF160
	真空測量	電阻+電離復合真空規
	排氣速率	機械泵1.1L/s，分子泵600L/s
	極限真空	1.0E-5Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	旋片泵：1.1L/S
控制系統	PLC自動控制操作界面：觸控屏+操作面板
其他	供電電壓	AC380V,50Hz
	整機尺寸	1000mmX900mmX1500mm
	整機重量	350kg
	整機功率	5kW

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