真空加熱型勻膠機旋涂儀是加熱型勻膠機基礎上增加內腔抽真空功能，保證基片在加熱和真空負壓狀態下進行勻膠作業。真空加熱型勻膠機在真空負壓狀態可以進行邊加熱邊旋轉的控溫勻膠操作，對提高膠體流動性，加速溶劑揮發，勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。

真空加熱型勻膠機旋涂儀性能參數：  

加熱轉盤:Φ50mm  

控溫范圍:室溫~150℃  

溫度分辨率:0.1℃  

控溫精度:±0.5℃（穩定后控溫）  

轉速分辨率:±1RPM  

轉速范圍:100-5000RPM  

加速度范圍:100-5000RPM/S  

單步設置時長:0.1-3000S  

可編程: 100組100步  

自動點膠口:一路  

設備重量:15kg  

電源輸入:AC220V，5A  

加熱功率:150W  

電機功率: 200W  

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