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等離子測試系統
簡要描述:

本設備為客戶定制等離子測試設備。設備主要部件為一個電感耦合的等離子發生器,發生器能夠在電感線圈內部的石英管內產生等離子體,石英管兩側的法蘭配有觀察窗,用戶可以在觀察窗上觀察實驗現象或者用其他儀器測量相關參數。設備采用觸控屏控制,屏幕集成所有實驗功能,如抽放真空、流量控制、射頻電源調節等。同時電感線圈采用水冷設計,外殼另有散熱風扇,保證了整套設備長時間工作的穩定性。該設備是高校實驗室進行等離子體相關性質研究的儀器。

  • 產品型號:CY-PLT30-A
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-16
  • 訪  問  量:158

詳細介紹

技術規格:

供電電壓

AC220V,50Hz

*大功率

1KW

耦合方式

電感耦合

石英腔體

O.Dφ30mm X 150mm   壁厚3.5mm

觀察窗尺寸

φ30mm

真空接口

KF16

進氣口接口

6.35mm 卡套接頭 

質量流量計

Ar標定 量程100sccm

真空泵

雙極旋片真空泵

極限真空度

0.1Pa

冷卻方式

水冷銅管+風冷殼體

射頻電源

*大輸出功率300W

自動匹配

頻率13.56MHz

整機尺寸

560mm X 620mm X 620mm


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