1200℃開啟式單溫區(qū)旋轉(zhuǎn)管式爐，采用高純石英制作爐管。旋轉(zhuǎn)裝置為半導(dǎo)體致冷法蘭，摩擦傳動，傾角（0~15°）任意可調(diào)。