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詳細介紹
| 品牌 | CYKY | 價格區間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
該設備以電子束蒸發方式鍍膜設備，主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，微納器件微加工，電鏡樣品預處理等，尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。電子束蒸發鍍膜儀不僅可用于玻璃片、硅片等硬質襯底，也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜。
電子束蒸發鍍膜儀設備技術參數：
使用條件 | 環境溫度5℃～40℃ 電源：三相380 V,功率：≤20 KW，水壓：≤2.5bar | |
真空室尺寸 | 蒸發室尺寸：φ500×H500(㎜) | |
電子槍 | 新型電子槍1套，6穴坩堝 | |
樣品轉盤 | 樣品尺寸：≤φ150mm，樣品可旋轉，也可上下升降調節樣品到電子槍距離(樣品托形狀按用戶要求設計),加熱溫度≤500℃ | |
系統真空度 | 極限真空 | 經12～24小時烘烤，連續抽氣≤5x10-5Pa |
抽氣速率 | 從大氣開始40分鐘內真空度≤5x10-4Pa | |
系統漏率 | 整機漏率≤1×10-8Pa.L/s 停泵關機12小時后，測量真空室真空度≤10Pa | |
抽真空系統 | FB1200分子泵+機械泵(TRP-36)系統，并設置旁路抽氣 | |
鍍膜監測 | 采用SQM160膜厚儀進行監測 | |
鍍膜厚度 | 鍍膜厚度的不均勻度≤6% | |
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