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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,地礦,能源,建材/家具,鋼鐵/金屬 |
詳情介紹：
本產品為桌面型石英腔體小型蒸發鍍膜儀，可提供100A的鍍膜電流，蒸發溫度可達1800℃，能夠滿足各種常見金屬及部分非金屬的蒸鍍。真空腔體采用高純石英制作，具有便于觀察鍍膜過程，易于清洗的優點；配合分子泵組可達到5x10-4Pa極限真空，能夠有效保證蒸鍍薄膜的純凈度和結合力。
在電子領域，桌面型石英腔體蒸發鍍膜儀可用于制備各種電子元件和組件的薄膜。例如，可用于制造集成電路中的金屬化層、電容器中的電極、電阻器中的薄膜電阻等。這些薄膜具有高精度、高均勻性和良好的電性能，對于提高電子元件的性能和穩定性具有重要作用。
在光學領域，該設備可用于制備光學薄膜。光學薄膜在光學儀器、光學通信、光學存儲等領域具有廣泛應用。通過蒸發鍍膜技術，可以制備出具有高透過率、高反射率或特定光學性質的薄膜，如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜能夠改善光學系統的性能，提高光學器件的效率和精度。
產品名稱 | 桌面型石英腔體小型蒸發鍍膜儀 | |
產品型號 | CY-EVZ180-I-H-Q | |
樣品臺 | 外形尺寸 | 直徑φ60mm |
轉速 | ≦20rpm | |
至蒸發源間距 | 60～100mm 連續可調 | |
熱蒸發源 | 有機蒸發源（石英舟和鎢絲發熱源） | |
蒸發電源 | 每個蒸發源配一組獨立電源 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ180mm，高度200mm |
觀察窗口 | 直徑φ60mm | |
腔體材質 | 高純石英 | |
開啟方式 | 上開啟式 | |
膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） | |
真空系統 | 前級泵 | 雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測量 | 復合真空計(電離規+電阻規) | |
系統真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制器 | |
其他參數 | 供電電源 | AC220V,50Hz |
整機尺寸 | 600mm×600mm×750mm | |
整機功率 | 1200W | |
整機重量 | 40kg | |
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