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桌面型靶下置型磁控鍍膜儀
簡要描述:

本設備為桌面型靶下置型磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點。真空腔體整體采用下置靶設計,濺射效果好,雜質污染少,能*大限度的保護樣品。

  • 產品型號:CY-MSZ180X-I-DC-SS
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-11-17
  • 訪  問  量:234

詳細介紹

品牌CYKY價格區間1-5萬
產地類別國產應用領域電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

本設備為桌面型靶下置型磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點。真空腔體整體采用下置靶設計,濺射效果好,雜質污染少,能最大限度的保護樣品。

磁控鍍膜儀典型應用:

•    科研領域:納米材料、薄膜器件、光學涂層等研究。

•    電子行業:半導體、傳感器、導電薄膜制備。

•    教學演示:材料科學、真空技術實驗教學。

•    以下是磁控鍍膜儀的典型實用案例,涵蓋科研、工業及教學領域,體現其多功能性和廣泛應用價值:



磁控鍍膜技術參數:


產品名稱

桌面型靶下置型磁控鍍膜儀

產品型號

CY-MSZ180X-I-DC-SS

樣品臺

外形尺寸

φ100mm

加熱溫度

500

可調轉速

20rpm

磁控靶槍

配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X215mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

304不銹鋼

開啟方式

上蓋拆卸式

真空系統

前級泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測量

復合真空計,量程:10-5~105Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統真空

1.0×10-4Pa

供電電源

AC   220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s  

電源配置

電源數量

直流電源一套

輸出功率

500W

其他參數

供電電壓

AC220V,50Hz

整機功率

2kW

整機尺寸

550mm   X 350mm X400mm




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