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該設備用于制備多組份、多層復合的致密的金屬/非金屬、金屬氧化物/氮化物/氮氧化合物、非金屬氧化物/氮化物/氮氧化合物等厚度均勻的薄膜材料,其中靶材可為金屬/非金屬的單組份或多組份材料(包含磁性靶材材料),也可為金屬/非金屬化合物的單組份或多組份材料。樣品能夠在該設備系統真空室內的薄膜沉積處原位退火處理。此外,采用磁控濺射鍍膜后的樣品可以進行硒化、硫化處理。可應用于材料學、物理學、化學、微電子、光電子、能源、催化、納米技術等領域。
手套箱是一種提供無水無氧環境的設備,該設備主要由顯示系統、過渡艙、真空系統、控制系統、箱體、循環凈化再生系統等部分組成,同時還可分別與氣體凈化系統、溶劑過濾系統、水氧顯示系統集成工作。箱體采用上等鋼板或鏡面不銹鋼氬弧焊制而成,雙層鋼化玻璃。美觀新穎、性能穩定。
手套箱是一種提供無水無氧環境的設備,該設備主要由顯示系統、過渡艙、真空系統、控制系統、箱體、循環凈化再生系統等部分組成,同時還可分別與氣體凈化系統、溶劑過濾系統、水氧顯示系統集成工作。箱體采用上等鋼板或鏡面不銹鋼氬弧焊制而成,雙層鋼化玻璃。美觀新穎、性能穩定。
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