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該區域提純爐主由：高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計、質量流量計、分子泵組、直線導軌、速度控制器等重要部件構成。區域提純爐廣泛用于半導體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。

感應式電磁屏蔽區域提純爐是一種深度提純金屬、金屬化合物或改變雜質在金屬錠內分布的火法精煉方法，其實質是通過局部加熱狹長金屬料錠，通過形成一個狹窄的熔融區（簡稱熔區），并使之按一定方向沿料錠緩慢移動，利用雜質在固相與液相間平衡濃度的差異，使雜質偏析到固相或液相中，反復操作可以讓雜質重新分布到料錠的一端或者兩端。